吉林华微电子股份有限公司现就以下十二个设备采购项目进行公开招标，邀请符合资格条件的潜在投标人参加投标。

一、招标项目内容

项目一：SEZ201腐蚀机采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司 SEZ201 腐蚀机采购项目

2. 项目要求：8英寸SEZ201 腐蚀机翻新机台

3. 需求数量：1 台套

项目二：Sigma fxp溅射台采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司 Sigma fxp 溅射台采购项目

2. 项目要求：8英寸SIGMA-FXP SPTS 溅射台翻新机台

3. 需求数量：2 台套

项目三：UF200A探针台采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司 UF200A 探针台设备采购项目

2. 项目要求：8英寸UF200A 探针台翻新机台

3. 需求数量：4 台套

项目四：NSR-SF100光刻机采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司 NSR-SF100 光刻机采购项目

2. 项目要求：8英寸NSR-SF100 光刻机翻新机台

3. 需求数量：2 台套

项目五：TEL-Mark7匀胶显影机采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司 TEL-Mark7 匀胶显影机采购项目

2. 项目要求：8英寸MARK7 匀胶显影机翻新机台（1C2D 3 台或（1C2D）2 台+（3D）1 台）

3. 需求数量：3台套

项目六：AXCELIS-GSD200E注入机采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司 AXCELIS-GSD200E注入机采购项目

2. 项目要求：8英寸AXCELIS-GSD200E注入机翻新机台

3. 需求数量：1台套

项目七：TEL 8SE-TEOS LPCVD-TEOS和DD-853V立式扩散炉采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司 TEL 8SE-TEOS LPCVD-TEOS和DD-853V立式扩散炉采购项目

2. 项目要求：TEL 8SE-TEOS LPCVD-TEOS 1台、DD-853V立式扩散炉 2台，适用于8英寸晶圆生产。

3. 需求数量：3台套

项目八：AMAT DPS Metal+干法刻蚀机和AMAT DPS Poly+干法刻蚀机采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司AMAT DPS Metal+干法刻蚀机和AMAT DPS Poly+干法刻蚀机采购项目

2. 项目要求：8英寸AMAT DPS Metal+干法刻蚀机翻新机台

                    8英寸AMAT DPS Poly+干法刻蚀机翻新机台

3. 需求数量：2 台套

项目九：LAM9400SE干法刻蚀机采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司LAM9400SE干法刻蚀机采购项目

2. 项目要求：8英寸LAM9400SE干法刻蚀机翻新机台

3. 需求数量：2 台套

项目十：TEL855DD干法刻蚀机采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司TEL855DD干法刻蚀机采购项目

2. 项目要求：8英寸TEL855DD干法刻蚀机翻新机台

3. 需求数量：1台套

项目十一：M200/PCU紫外固化采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司M200/PCU紫外固化采购项目

2. 项目要求：8英寸M200/PCU紫外固化翻新机台

3. 需求数量：2台套

项目十二：华峰测试仪STS8200采购项目

1. 项目名称：吉林华微电子股份有限公司：华峰测试仪STS8200采购项目

2. 项目要求：华峰测试仪STS8200全新机台，适用于8英寸晶圆生产。

3. 需求数量：2台套

二、投标人资格要求

1. 具备同类设备翻新或销售业绩 2个及以上，须提供销售合同及验收相关证明材料；

2. 具备国内外设备供货、翻新、现场安装调试能力；

3. 其他详细要求请查阅中国招标投标公共服务平台相关公告。

三、报名及招标文件获取

1. 报名需提供的资质审查资料、获取参与资格及招标文件的方式等详细信息，请查阅中国招标投标公共服务平台发布的公告。

2. 投标人须按平台公告要求完成报名及资料提交。

四、发布平台及联系方式

1．详见中国招标投标公共服务平台公告

中国招标投标公共服务平台http://www.cebpubservice.com/

中国采购与招标网 https://www.chinabidding.com.cn/

2. 如有疑问，请依据中国招标投标公共服务平台公告中提供的联系方式进行咨询。

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吉林华微电子股份有限公司

2026年1月30日